什么是氦質(zhì)譜檢漏儀？

氦質(zhì)譜檢漏儀是目前靈敏度高、應用廣的精密檢漏儀器。其核心功能是利用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜分析原理，對真空或加壓容器、管道及密封器件進行微小漏孔的定性和定量檢測。其檢測精度可達高的水平（如10?12 Pa·m3/s），能發(fā)現(xiàn)極其微小的泄漏。

工作原理可以概括為三個關鍵部分：

1. 示蹤與采樣：在待測工件上施加氦氣（例如用噴槍噴吹可疑部位，或將工件充入氦氣）。若有漏孔，氦氣便會通過漏孔進入或逸出。儀器通過其真空系統(tǒng)（包含機械泵和分子泵）將被測區(qū)域（或從工件表面吸入的）氣體樣品持續(xù)抽入分析室，形成高真空環(huán)境。

2. 分離與篩選：氣體樣品進入核心部件——質(zhì)譜室。在室內(nèi)，氣體分子被電離成離子，并在電場和磁場的作用下按質(zhì)量電荷比（m/e） 進行分離。儀器的磁場被精確調(diào)諧，只允許氦離子（質(zhì)量數(shù)為4） 通過一個特定的狹縫通道，其他質(zhì)量數(shù)的氣體離子（如氮、氧）則被偏轉過濾掉。這就像一把只為氦氣打開的“分子篩"。

3. 探測與指示：成功通過狹縫的氦離子被收集極（法拉第杯） 捕獲，并轉化為微弱的離子電流信號。該信號經(jīng)放大器放大后，在儀器顯示屏上顯示為一個與氦氣濃度（即泄漏率）成正比的讀數(shù)或曲線。數(shù)值越大，表示泄漏越嚴重。

主要工作模式：

• 真空模式（吸槍法）：將工件內(nèi)部抽真空，在外部用氦氣噴槍掃描。氦氣通過漏孔被吸入儀器，直接檢測。

• 正壓模式（嗅探模式）：向工件內(nèi)充入氦氣混合物，用儀器的吸槍在外部可疑部位掃描，吸入逸出的氦氣進行檢測。

為何選用氦氣？
氦氣具有惰性、安全、無毒、在空氣中本底含量極低（約5ppm）、分子小易通過微孔、且是僅次于氫氣的第二輕元素，易于在質(zhì)譜儀中被高效分離和識別。

總結來說，氦質(zhì)譜檢漏儀是一種將真空技術、質(zhì)譜分析和高靈敏度電子檢測相結合的精密儀器。 它如同一個只為“氦氣"存在的超靈敏嗅覺探測器，廣泛應用于航空航天、半導體制造、真空設備、制冷（如空調(diào)壓縮機）、汽車燃油系統(tǒng)、醫(yī)療器械及科研等領域，是保障產(chǎn)品質(zhì)量與安全的關鍵設備。